3차원 측정기(3D CMM)의 특징

광학 비접촉식 측정 방식으로 측정 샘플의 손상이 없고, 나노급 오토 포커싱 및 스테이지 이동시 발생하는 Yawing, Pithing 보정기술 적용으로 기존장비에 비해 수십배 높은 측정 정밀도를 가진다.

• 측정 범위
  - 측정가능 크기 : 최대 1.3M
  - 측정 형상 : 평면, 구면, 비구면