장비D-PSI 간섭계

D-PSI Interferometer
Introduction

D-PSI 간섭계의 특징

징기존 Piezo Type 간섭계는 PZT를 이용하여 위상변화(Phase Shifting)를 만들어 간섭무늬를 해석한다.
위상변화(Phase Shifting) 시 외부환경 변화( 진동, 온도, 공기흐름)에 따른 노이즈 발생시 무늬 해석에 오류를 발생한다.
D-PSI 간섭계는 광학적 위상변화(Phase Shifting)를 시켜 한 개의 카메라를 통해 위상이 다른 무늬를 동시에 4장을 얻을 수 있어 노이즈에 강하다.